Пары масла, попав в плазменный разряд, который потух не мгновенно, как-то в нём разложились, и обломки молекул сели на стенки вакуумной камеры. Потратив очень много трудов для очистки камеры, первооткрыватель, к чести его, подумал: а нельзя ли это использовать? И стал специально подпускать в плазменный разряд пары этого масла и исследовать получающуюся кремний-углеродную плёнку. Называется масло полифенилметилсилоксан, и, конечно, в статьях потом никто не упоминает его первоначального предназначения. Вроде специально запустили в камеру. Плёнка получалась прочной, хорошо изолирующей электрически, вдобавок очень скользкой, что тоже можно как-то использовать. Поисследовав некоторое время её в СССР, изобретатель уехал в США, и несколько сотрудников с ним. Где сперва они продолжили исследования, а потом продали разработку какой-то большой фирме, имеющей для исследований больше возможностей. О дальнейшей судьбе изобретателя не знаю, а фирма, по слухам, наносит плёнку на бритвы «Жиллет», чтобы они лучше скользили по коже и мягче брили. Я бы на их месте не стал. Не потому, что это оскорбляет мои «религиозные» чувства, что это, де, за приземлённое использование материала электронной техники. Просто не факт, что с краю плёнки, которая, действительно, имеет некоторое количество углеродных связей как у алмаза, не откалываются со временем острые чешуйки, способные причинять клеткам кожи повреждения. А вдруг они по этой причине имеют канцерогенное действие? Ну ладно, уж эта обезьяна точно не на мне.
Дело хорошее, решили те сотрудники изобретателя, что не подались вместе с ним искать, где молочные реки глубже. Они продолжили работать (а именно, в МИСиСе): подбирать режимы напыления для получения наиболее хорошей плёнки. А другие сотрудники МИСиСа исследовали, что получается.
Тут в повествовании появляется сотрудник кафедры полупроводников Малинкович. На снимке он слева. (Справа я, в середине аспирант, потом к.ф.-м.н. Артём Иржак). Нагрузка на него была колоссальная: он и преподавал, и занимался фантастически большим количеством разных научных исследований параллельно. Я никогда даже не пытался его расспросить, сколько их у него, а понял это из того, сколько людей заходило с ним что-то обсудить, пока мы с ним обсуждали что-то, касающееся нашей с ним совместной работы. Он спроектировал установку для исследования той самой плёнки на электрический пробой. Главным органом установки был предметный столик от старого микроскопа, на котором закреплялся образец, представлявший собой плёнку, осаждённую на поверхность металла. Точнее, на поверхность металлической плёнки на изоляторе. На образец, к металлу которого припаивался электрод, опускался другой электрод, сконструированный из стержня от шариковой авторучки. Шарик стержня имеет по сравнению с площадью электрического пробоя настолько большую величину, что контакт можно считать плоским и не опасаться контактных явлений в виде искажения энергетических зон изолятора. Хотя я не знаю, есть ли они у аморфного вещества, но неважно. Подаваемое напряжение растёт, а ток фиксируется самописцем. Через некоторое время добавился комп с программой, управляющей повышением напряжения и регистрирующей ток лучше самописца. Тем более что самописец сплошь и рядом не удавалось вовремя отключить при наступлении пробоя, и он пытался уползти за шкалу и гневно жужжал, что было ему не полезно.
Микроскоп
Я на этой самоделке работал и потом рассматривал места пробоя под микроскопом. Не электронным, оптическим, но очень хорошим. Фирмы «Цейсс», с увеличением до 1000 (т.е. примерно предельно возможное для оптики) и всякими приспособлениями. Съёмка в поляризованном свете, в синем свете (у него длина волны меньше, тем самым, разрешение больше), увеличение разрешения путём вибрации регистрирующей матрицы и мн. др. А также мне на этот микроскоп несли всякие другие образцы. Например, оказалось возможным рассматривать, фокусируя микроскоп внутри образца, ряды пузырьков, образующихся в кристалле сапфира, когда его выращивают из расплава и пытаются увеличить скорость подъёма, а расплав увлекается силами поверхностного притяжения, а потом резко опускается, исчерпав возможную величину этих сил. И т.д. Помнится, для общего отчёта, не в силах отказаться от многих красивых картинок, составил свой отчёт на 80 страниц. Велели сократить раза в три. А я думал, чем отчёт больше, тем лучше. В целом так и есть. Но только если он не забивает отчёты прочих сотрудников, отписавшихся на одной страничке. Вообще этот микроскоп выдавал самые красивые картинки из всех, что я видел.
Вот, нашёл схематичный рисунок микроскопа.
Axio Imager.D1, Carl Zeiss AG.
Тут на схеме нет прилагающегося к нему компа с монитором. Более того, не показана та самая фотокамера с подвижной матрицей. Она была прикреплена на самом верху, а тут только место под неё.
Профилометр