Эксперт № 45 (2013)

Новый руководитель оправдывает надежды своих новых подчиненных, развив бурную деятельность в поисках новых заказов. Через год после образования МОМЭТ участвует в разработке, создании и организации серийного производства первого отечественного электронно-лучевого тестера интегральных схем РЭМ-102Э на сумском ПО «Электрон». Годом позже на этом же предприятии МОМЭТ налаживает промышленный выпуск первого отечественного полностью автоматизированного просвечивающего электронного микроскопа ПЭМ-100. Как и прежде, проводится много исследований по заказу предприятий ВПК, вносивших значительный вклад в финансирование разработок. В 1988 году в интересах НПО «Гранит» отрабатываются процессы создания приборов на поверхностно-акустических волнах для систем управления ракет, а НПО, в свою очередь, в рамках совместной программы устанавливает в лабораторию технологическую линию. С электронными предприятиями Зеленограда МОМЭТ разрабатывает электронно-зондовые системы для контроля и диагностики интегральных микросхем, которые нельзя было купить на Западе из-за ограничений Координационного комитета по экспортному контролю.

Продолжаются поисковые работы. Предвидя, что междисциплинарные и конвергентные технологии и системы ждет бурное развитие, Виктор Лучинин много работает в биологической сфере. Его аспиранты занимаются осаждением из жидкой фазы монокристаллов аналогов фосфолипидов — органических веществ, которые являются основой биологических мембран. По-прежнему продолжается разработка теории и реализация процесса матричного синтеза объектов неорганической природы, синтезируются редкие структурные модификации карбида кремния и нитрида алюминия.

К 1991 году на базе МОМЭТ сформировался мощный центр НИОКР, проводивший более 15% объема научно-исследовательской деятельности всего университета. Под началом Лучинина там работает уже около ста человек. Тогда же МОМЭТ был преобразован в Центр микротехнологии и диагностики.

В начале 1990-х рушится практически вся научно-производственная империя микроэлектроники, созданная в СССР (соотношение того, что было раньше, и того, что есть сейчас, — десять к одному, говорит ученый). В институтских лабораториях, руководители которых привыкли жить за счет госфинансирования, практически не остается людей, работавших в научно-исследовательском секторе. Для ЦМИД тоже наступают трудные времена. Но центр теряет только пятую часть своих работников, причем большей частью тех, кто увидел открывающиеся возможности для создания бизнеса. Привыкший искать и находить заказы, руководитель центра для выживания своего детища заключает контракты на нанесение упрочняющих и декоративных покрытий: на вакуумно-дуговых, ионно-плазменных установках лаборатории тонируют стекла машин, стеклянную посуду и столовые приборы. «Мы были вынуждены этим заниматься, — оправдывается Лучинин, — мне нужно было кормить людей. Они, конечно, получали небольшие деньги, но их хватало на самое необходимое. Я с гордостью могу сказать: у нас не было ни одного месяца и в эти тяжелые времена, чтобы работники не получали свою официальную зарплату». Еще одним источником финансирования становятся образовательная программа «Человек в экстремальных условиях» и технологическая «Научное приборостроение», которые удалось пробить в Комитете по науке и технике.

Виктор Лучинин, директор ЦМИД и заведующий кафедрой микро- и наноэлектроники ЛЭТИ

Фото: Александр Крупнов

Существенно помогают и заказы от западных фирм. Специалисты General Electric, где знали о дореформенных работах ЦМИД в области аналитического приборостроения, привозили для экспертизы на патентную чистоту микросхемы тайваньского и малайзийского производства, многие из которых были скопированы с оригинальных микросхем GE и других известных компаний.

В середине 1990-х в ЛЭТИ обратились специалисты Sandia National Laboratories, — национальной лаборатории министерства энергетики США, ведающей вопросами ядерной и экологической безопасности. Их интересовали и сама технология роста карбида кремния, и высокотемпературные радиационно стойкие датчики температуры и давления на карбиде кремния, необходимые для контроля ядерных объектов, которые к этому времени уже научились изготавливать в ЦМИД. Под этот проект Таирову и Лучинину удалось выиграть грант МНТЦ на 600 тыс. долларов на два с половиной года, огромные по тем временам деньги, которые дали возможность стабилизировать ситуацию в центре. «Люди воспрянули, — вспоминает Лучинин, — конечно, заниматься нанесением покрытий на товары народного потребления было необходимо, но они ведь раньше занимались наукоемкой продукцией, и возвращение к исследовательской работе создало в центре более благоприятный настрой».

Жуки, тараканы и e-текстиль