Работы. Мемуар

Поиск течи делается с помощью специального прибора, течеискателя. Потому что мало обнаружить сам факт течи. Это-то легко – при течи не удаётся добиться требуемого вакуума. Сверхвысокий вакуум, нужный для Оже-спектрометра, это 10^–8-10^–10. Гораздо выше, чем, скажем, для электронного микроскопа. Дело в том, что Оже-электроны, с их относительно небольшой энергией, не вылетают с большой глубины образца. Анализируется самый верхний слой, практически несколько атомных слоёв. Это и преимущество – хорошая чувствительность к поверхностным загрязнениям, например, которые можно таким образом хорошо обнаруживать. И недостаток, точнее, сложность в работе, потому что малейшее присутствие остаточных газов, особенно углеродосодержащих, под действием электронного пучка вызывает образование загрязнений на том самом месте, которое анализируешь. Вот поэтому и нужен хороший вакуум. В электронном микроскопе пучок электронов с большой энергией проходит через тонкий образец насквозь, что ему какой-то лишний атомный слой углеродных загрязнений.

Да, так течеискатель. Он действует, по сравнению с наблюдением самой течи, наоборот. Там откачивался воздух и мы смотрели на показания манометра внутри прибора. А тут в прибор закачивается гелий, а течеискатель фиксирует наличие гелия снаружи. У него есть тонкий щуп, трубочка на гибком шланге, этим щупом нужно провести по всем местам соединений, а течеискатель, находясь, в отличие от манометра, снаружи от прибора, подаёт звуковой сигнал, если где гелий вытекает. А вытекает он гораздо лучше, чем остальные газы. Атомы маленькие и химически инертные, ни за что не цепляются. Однако, когда речь о сверхвысоковакуумном приборе, течь может быть такая маленькая, что течеискатель не помогает. Приходится подтягивать гайки на всех фланцах и следить за давлением при откачке. То есть ловить течь методом тыка. Иногда случается и перетянуть шпильки – медная прокладка прорезается и – начинай всё сначала. Правда, при кратковременном впуске атмосферы потом всё же обезгаживание не столь долгое, как после того, как прибор год простоял под атмосферой. Собственно, первоначально он был под вакуумом, но вакуум сам по себе, без постоянной откачки, не поддерживается.

Ещё были всякие неурядицы при работе чувствительного прибора на заводе. Например, как-то за стенкой взвыла дрель, и в спектрометре сам собой включился форвакуумный насос и стал перекачивать воздух из комнаты в неё же. Он был в тот момент отсоединён. Он и нужен только на начальном этапе откачки. Поддерживает вакуум диффузионный насос, который не может работать прямо на атмосферу. Совместно они откачивают маленькую загрузочную камеру, в которую загрузили образец на специальном держателе с хвостовиком, из которого торчат маленькие шпенёчки для зацепляния манипулятором. Когда в загрузочной камере достигается достаточно хороший вакуум (не такой, как в основной, но всё же чтобы при кратком контакте через трубу не сильно испортить вакуум), манипулятор, управляемый вручную с помощью надетого на его трубу магнита, захватывает этот хвостовик, надеваясь на шпенёчки своими прорезями, перетаскивает держатель с образцом в основную камеру и задвигает в тамошний карусельный держатель, имеющей несколько мест для держателей образцов. Потом манипулятор извлекается из основной камеры, закрывается шлюз между ними, и основная камера дополнительно откачивается до рабочего вакуума. Бывает и так, что при неловком движении держатель с образцом падает. В расположенный прямо под основной камерой магниторазрядный насос он не попадает, там специально закреплена внизу основной камеры сетка. Но прямо сразу извлекать образец было нерационально, слишком долго развинчивать и завинчивать основную камеру – см. описание выше – и снова отжиг проводить. Так что мы делали это, когда на сетке накапливалось несколько держателей с образцами и их начинало не хватать для новых образцов. Впрочем, в какой-то момент Якорев заказал изготовить такие же держатели, это было не очень сложно, такая точность, как, скажем, для фланцев вакуумных соединений или, тем более, для анализатора «цилиндрическое зеркало», была не нужна.

В общем, долго ли, коротко, спектрометр заработал, и мы стали усердно доказывать начальству, что на него не напрасно потрачена куча денег, что он очень полезен для производства. В основном, определяли причины брака, которыми чаще всего оказывались загрязнения. Какая-то работница на обед покушала селёдку и не помыла руки. Селёдочный жир на микросхеме, микросхема выходит из строя.